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性能

設計

可靠的

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氬氣回收7-4

氬氣回收設備

產品簡介:
處理氣量:(1-200)Nm3/h
壓力:≤1.0Mpa
氬氣純度:≥99.999% 
露點:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氫量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
廣泛應用于:
熔硅單晶爐配套使用,激光器、濺射、半導體生產,氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關科研和生產部門。
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單晶爐氬氣回收設備(氬氣回收率≥90%)

氬氣回收設備、氬氣回收裝置是根據單晶爐工作運行的工序,真空泵抽出的回收氬氣由閥進入到氬氣回收設備。回收氣首先經過鼓風機進入到進氣儲罐,然后再進入到預處理設備,除去里面的油份和雜質。然后進入以下氬氣純化設備單元,根據各個工藝將里面的雜質一一去除,然后使得回收氣氣體純度達到所需要求,進一步循環利用。

MHYa-Ⅰ型15-1200 氬氣回收設備

規格型號

MHYa15-

MHYa30-

MHYa150-

MHYa300-

MHYa600-

MHYa1200-

處理量Nm3/h

15

30

150

300

600

1200

工作壓力MPa

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

去除雜質

除氧

ü

ü

ü

ü

ü

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除氮

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除氫

ü

ü

ü

ü

ü

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除碳

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除水

ü

ü

ü

ü

ü

ü

產品氣

含濕量-露點(℃)

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

含氧

(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

含氮

(ppm)

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

含氫

(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

控制方式

PLC全自動

PLC全自動

PLC全自動

PLC全自動

PLC全自動

PLC全自動

占地面積

20m2

40m2

60m2

100m2

200m2

500m2

可以根據客戶要求定制