簡單的

性能

設計

可靠的

Simple design Reliable performance

蘇州穆爾氣體設備博亚娱乐    氣體純化    氬氣純化設備
氬氣純化7-1

氬氣純化設備

處理氣量:(1-200)Nm3/h
壓力:≤1.0Mpa
氬氣純度:≥99.999% 
露點:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氫量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
廣泛應用于:
熔硅單晶爐配套使用,激光器、濺射、半導體生產,氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關科研和生產部門。
  • 回到頂部
  • 13372149508
  • QQ客服
  • 微信二維碼

高純氬氣純化設備、氬氣純化裝置、氬氣凈化裝置

      原料氣可以是液氬,瓶裝氬氣等,針對原料氬氣的成分不同,可定制多種凈化方案。提純過程有催化脫氧、冷卻冷凝、吸附脫水、深度凈化爐等工藝,保證客戶的不同需求。

技術特點
采用凈化爐脫除雜質氣體,效果可達產品氣純度99.999%。

采用優質分子篩,產品氧氣含濕量≤-70℃露點。
采用高效燒結過濾器,除塵后分子粒度≤0.1μm。
純博亚娱乐作氣體壓力范圍0.2-5.0MPa,并能適用于壓力波動氣體。
原料氣采用先進工作流程,溫度控制安全可靠。
撬裝設備,安裝方便,結構緊湊,維修簡單。

 

MGY1-200  型高純氬氣純化設備

規格型號

MGYa1

MGYa2

MGYa5

MGYa10

MGYa20

MGYa40

MGYa60

MGYa80

MGYa100

MGYa200

處理量Nm3/h

1

2

3-5

6-10

15-20

30-40

50-60

70-80

90-100

150-200

工作壓力MPa

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

去除雜質

除氫

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除碳

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除氧

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除氮

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除水

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

產品氣

含濕量-露點(℃)

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

含氧量(ppm)

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

含氮量(ppm)

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

含碳量(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

含氫量(ppm)

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

控制方式

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

手動or自動

外型尺寸
長×寬×高(m)

0.6×0.6×1.6

0.6×0.6×1.6

1.2×1.0×1.8

1.5×1.0×1.8

1.8×1.0×1.8

2.2×1.2×2

2.4×1.2×2

2.4×1.6×2

2.4×2×2

3.0×2.2×2.5

裝置重量(t)

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

1.0

1.2

2.0

可以根據客戶要求定制